合肥迈思瑞仪器仪表(多图)-黄山光栅激光干涉仪哪家好

激光干涉仪影响因素

余弦误差的影响

激光光束同运动坐标轴的调准误差会导致测量的距离和实际运动距离之间的误差，该误差与(1-cosθ)成正比，θ为激光光束同运动坐标轴线之间的误差夹角。

　　当激光测量系统的光路调整得与运动坐标轴不同轴时，光栅激光干涉仪哪家好，该余弦误差会导致测量距离比实际运动距离短，用激光测量系统测量的实际距离为Ls，而实际运动距离为Lm。如θ角为0.167°，则引起的余弦误差为5μm/m。

设备环境温度的危害：1、危害要素，设备溫度偏移20℃时，因为应用的原材料温度感应器的精1确测量精1确度及键入设备线膨胀系数有误的危害，对精1确测量精1确度也会造成危害。当原材料温度感应器的精1确度为±0.1℃，线膨胀系数为10μm/℃时，造成的数据误差为±1.0μm;若键入有误的设备线膨胀系数会使精1确度转变为10μm，乃至大量。2、降低及清除的方式：由上看得出，线膨胀系数是1个关键的偏差来源于，因而应当留意保证键入恰当的标值，必需时，应向设备经销商开展资询。

激光干涉仪功能

　　1.自动螺距误差补偿。激光干涉仪不仅能自动测量机器的位置精度，而且还能通过RS232接口使计算机和数控系统实现通信，对误差进行自动补偿。它比通常的手工补偿方法节省了大量的时间，同时可***da限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到***jia精度。

　　2.回转坐标精度标定。回转坐标分度精度标定可对数控转台在任意角度位置，以任意测量间隔进行自动测量及补偿。

　　3.机床动态特性测试与评估。利用中图动态特征测量与评估软件，可用干涉仪进行杌床振动测试与分析、滚珠丝杠的动态特性分析、伺服驱动系统的响应特性分析、导轨的动态特性（低速爬行）分析等，从而帮助用户对机器源进行分析。

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