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发布时间:2020-03-15 04:36:58
激光干涉仪功能
1.自动螺距误差补偿。激光干涉仪不仅能自动测量机器的位置精度,而且还能通过RS232接口使计算机和数控系统实现通信,对误差进行自动补偿。4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等,如必须擦拭则应当小心擦拭,利用科学的方法进行清洁。它比通常的手工补偿方法节省了大量的时间,同时可***da限度地选用被测轴上的补偿点数,使机床达到***jia精度。
2.回转坐标精度标定。回转坐标分度精度标定可对数控转台在任意角度位置,以任意测量间隔进行自动测量及补偿。
3.机床动态特性测试与评估。利用中图动态特征测量与评估软件,可用干涉仪进行杌床振动测试与分析、滚珠丝杠的动态特性分析、伺服驱动系统的响应特性分析、导轨的动态特性(低速爬行)分析等,从而帮助用户对机器源进行分析。
激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平,提供4 m/s***1大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在***1高的数据记录速率下,系统准确性可达到±0.5ppm(线性模式)和1纳米的分辨率,这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势,帮助解决现代化机器设计问题。激光干涉仪简介激光干涉仪以光波为载体,具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、***1高测速下分辨率高等特点,其光波波长可直接对米进行定义并溯源至***标准。
系统精度比原有的对应产品激光系统有所提升,在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下,均可达到±0.5 ppm的精度。环境读数使用智能传感系统进行读取,每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要,与Renishaw的ML10系统一样,所有测量值均采用稳定化的氦nai激光源的波长为单位,保证能够溯源至国际公认的长度标准。
激光干涉仪的用途
SJ6000激光干涉仪结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件的配合下,激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。(干涉镜或者反射镜移动,反射镜作移动光学元件的测量范围是40m,干涉镜作移动光学元件的测量范围是15m。激光干涉仪的工作原理,激光干涉仪发射单一频率光束,光束射入线性干涉镜后分成两道光束射向反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,***后重新汇聚返回激光干涉仪。
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